概要
バックグラインドテープは、ウエハの裏面研削（バックグラインド）時に回路面を外的異物による傷、チッピング・クラック（割れ）やコンタミネーションなど の汚染から保護するために使用され、ウエハの大口径化・薄型化や高バンプ仕様の開発に伴い、テープに要求される主な点は、①低汚染､②ウエハへの追従性、 ③剥離のし易さ、が挙げられます。エレグリップテープは、これらの要求事項を満たし、さらに非水溶性タイプである事より、水回りに強く、洗浄する必要があ りません。
特長
- 回路面等凹凸ウエハーに対する優れた密着性
- パーティクル発生を抑止
- 裏面研削時水回りに抜群の研削精度（TTV)
- 優れた易剥離性
- 粘着力の経時変化抑止
