デンカの電子・先端プロダクツ部門は、無機・有機・高分子化学を融合したユニークな電子材料によって、エレクトロニクスの技術革新を支えています。

窒化ホウ素成型品

  • 先端機能材料
  • その他

概要

ボロンナイトライドは、絶縁特性、高熱伝導性、化学的安定性、機械加工性に優れ、半導体プロセス部材、電気炉部材、電子部品組立治具などに使用されています。

特長

六方晶の結晶構造を有し、白いカーボンとも呼ばれる材料です。高温での絶縁特性、高熱伝導度性、低熱膨張性など特異な性質を有することから、半導体プロセスなどの厳しい環境下で使用される材料として適しております

用途

  • 半導体製造装置の各種部品
  • 金属、ガラス離型・耐食材料
  • 電子部品組立治具
  • 電気炉絶縁部材
  • シリコン(Si)へのホウ素(B)ドーパント

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電子・先端プロダクツ部門

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