製品情報

概要

タングステン単結晶ニードルの表面をジルコニウムと酸素の吸着層で被覆し、タングステンの仕事関数を低下させたショットキーエミッター。単結晶LaB6カソードに比べ100倍以上の輝度を有しエネルギー幅も小さいため、低加速電圧でもプローブ径を絞ることが可能で、半導体材料・デバイスの表面観察用途に最適です。また放射電流が極めて安定で、かつ長寿命のため、半導体検査装置や電子線露光装置をはじめとして、さまざまな電子線応用機器に利用されています。

特長

高度なニードル加工技術により幅広いチップ先端曲率に対応できます。ばらつきが小さく、再現性の良い電子放射特性が得られます。ご指定の電子銃への組み込みに対応できます。また、チップ、サプレッサ、引き出し電極が一体となったモジュール形態での提供も可能です。

用途

高分解能SEM、透過型分析電子顕微鏡、半導体検査装置（CD-SEM、DR-SEM、EBI）、電子線露光装置