デンカの電子・先端プロダクツ部門は、無機・有機・高分子化学を融合したユニークな電子材料によって、エレクトロニクスの技術革新を支えています。

デンカエルミオン

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概要

Gaイオン源「デンカエルミオン」は特殊なチップ処理により安定イオン放射を実現します。

特長

タングステンニードルの表面を特殊加工してあるため、液体ガリウムに対する濡れ性に優れ、安定した液体ガリウムの輸送により、安定したイオン放射特性を達成しました。

用途

半導体デバイスの断面観察装置、磁気ディスクヘッドの加工、TEM用薄片試料作製

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