電気化学工業株式会社 電子材料事業部
窒化ホウ素成型品
絶縁･高熱伝導･高温耐食材料(窒化ほう素、BN、ボロンナイトライド）
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概要
ボロンナイトライドは、絶縁特性、高熱伝導性、化学的安定性、機械加工性に優れ、半導体プロセス部材、電気炉部材、電子部品組立治具などに使用されています。
特徴
六方晶の結晶構造を有し、白いカーボンとも呼ばれる材料です。高温での絶縁特性、高熱伝導度性、低熱膨張性など特異な性質を有することから、半導体プロセスなどの厳しい環境下で使用される材料として適しております
用途
●半導体製造装置の各種部品
●金属、ガラス離型・耐食材料
●電子部品組立治具
●電気炉絶縁部材
●シリコン(Si)へのホウ素(B)ドーパント
●金属、ガラス離型・耐食材料
●電子部品組立治具
●電気炉絶縁部材
●シリコン(Si)へのホウ素(B)ドーパント
連絡先
- 事業部
- 電子材料事業部
- 担当セクション
- 機能材料部
- 電話番号
- 03-5290-5539
- FAX番号
- 03-5290-5078
