電気化学工業株式会社 電子材料事業部
デンカエルミオン
集束イオンビーム（FIB）機器のイオン源
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概要
Gaイオン源「デンカエルミオン」は特殊なチップ処理により安定イオン放射を実現します。
特徴
タングステンニードルの表面を特殊加工してあるため、液体ガリウムに対する濡れ性に優れ、安定した液体ガリウムの輸送により、安定したイオン放射特性を達成しました。
用途
半導体デバイスの断面観察装置、磁気ディスクヘッドの加工、TEM用薄片試料作製
詳細データ
- DENKA TFE 製品データシート (39KB)
- DENKA TFE for SEM and TEMデータシート (31KB)
- TFEデータシート (39KB)
- DENKA TFE for SEM and TEMデータシート (31KB)
- DENKA L-MION製品データシート (25KB)
連絡先
- 事業部
- 電子材料事業部 機能材料部
- 担当セクション
- 放熱材・エミッターG
- 電話番号
- 03-5290-5539
- FAX番号
- 03-5290-5289
